超聲波物聯(lián)傳感器#農(nóng)業(yè)效率《氣象支持》

　　超聲波物聯(lián)傳感器#農(nóng)業(yè)效率《氣象支持》??????? #????<????>氣象傳感器在天氣預(yù)報、高速公路、船舶航行、機場、軍事等方面有巨大需求，其核心技術(shù)長期被國外壟斷，嚴(yán)重制約了我國氣象傳感器及其相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，因此，必須解決關(guān)鍵技術(shù)難題：

　　復(fù)雜性，氣象傳感器涉及氣壓、風(fēng)速風(fēng)向、濕度等多種敏感原理，面臨復(fù)雜的設(shè)計、制造、封裝等問題;

　　可靠性，氣象傳感器需要長期在野外工作，面臨灰塵、腐蝕等惡劣環(huán)境下工作的可靠性問題。

　　在國家自然科學(xué)基金、國家863計劃等支持下，本項目系統(tǒng)地開展了氣象傳感器設(shè)計理論、關(guān)鍵技術(shù)研究，較好解決了上述技術(shù)難題，并成功應(yīng)用于氣象傳感器及其系統(tǒng)研制和批量生產(chǎn)中。

　　主要創(chuàng)新如下：

　　1. 在國際上研究并提出了基于面積變化和介電伸縮效應(yīng)的MEMS電容式氣壓傳感器結(jié)構(gòu)，保證了傳感器輸出的線性度;了二氧化硅介電伸縮系數(shù)的懸臂梁測試結(jié)構(gòu)，獲取了介電伸縮系數(shù)基礎(chǔ)數(shù)據(jù);提出了帶微孔濾膜的電容式氣壓傳感器封裝方法，提高了傳感器環(huán)境適應(yīng)性。

　　2. 了JD-WQX5風(fēng)速風(fēng)向傳感器的測溫方法和深槽隔熱結(jié)構(gòu)，提出了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的溫度自平衡測控方法，解決了長期以來風(fēng)速風(fēng)向傳感器量程難以提高的技術(shù)難題;了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的陶瓷圓片封裝技術(shù)，保障了傳感器工作的可靠性。

　　3. 了JD-WQX5濕度傳感器片上集成多晶硅加熱電阻結(jié)構(gòu)，縮短了濕度傳感器的脫附時間;了氮化硅包覆鋁電的結(jié)構(gòu)，有效防止了聚酰亞胺吸水而腐蝕鋁電，突破了濕度傳感器長期工作穩(wěn)定性的技術(shù)瓶頸。

　　4. 建立了JD-WQX5器件-封裝結(jié)構(gòu)溫度效應(yīng)模型，提出了微懸臂梁接觸長度的測量結(jié)構(gòu)，了微懸臂梁疲勞特性的測量方法，實現(xiàn)了MEMS結(jié)構(gòu)與器件的溫度、濕度、振動可靠性測試和評估。

　　5. 了前向散射式能見度檢測器大氣散射信號測量技術(shù)，開發(fā)了前向散射式能見度檢測器系統(tǒng)。

　　獲中國授權(quán)43項;制訂國家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項;出版英文叢書1章;發(fā)表論文138篇(SCI 26篇、EI 138篇)、SCI他引152次;在國內(nèi)會議大會報告2次、在國外會議邀請報告2次。